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实验研究了在负压0.1MPa的情况下，五水四甲基氢氧化铵与异丙醇共沸4h，然后减压真空干燥得到四甲基氢氧化铵三水结晶化合物的过程。
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Preparation of tetramethyl ammonium hydroxide ( I) application of TMAH solution in MEMS
四甲基氢氧化铵（TMAH）的制备（Ⅰ）四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用
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使用四甲基氢氧化铵（TMAH）作为分散剂，研究了分散剂用量对SiC浆料流变性能的影响，并分析了其原因。
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